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四川省某半導(dǎo)體企業(yè)超純水項(xiàng)目介紹

  半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)的時(shí)候需要大量的清洗水,隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展,對(duì)清洗水的電導(dǎo)性、離子含量、TOC、DO、Particles要求也越來(lái)越嚴(yán)格。由于半導(dǎo)體用超純水對(duì)多項(xiàng)指標(biāo)的高要求,所以在半導(dǎo)體行業(yè),超純水不同于其他行業(yè)對(duì)水的要求,半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水有嚴(yán)格的水質(zhì)要求。

  在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,硼是P型雜質(zhì),過(guò)量會(huì)使n型硅反型,對(duì)電子、空穴濃度有影響。因此在超純水行業(yè)中,要充分考慮硼的脫除?!禨tandard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13)標(biāo)準(zhǔn)中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。如果硼離子含量能夠達(dá)到更低的指標(biāo),勢(shì)必會(huì)提升半導(dǎo)體的性能。

  萊特萊德超純水設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,不會(huì)因?yàn)闃渲偕V惯\(yùn)行,設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相對(duì)靠緊,所以其占地較小,可以為企業(yè)節(jié)省很多空間,工業(yè)用超純水設(shè)備在出廠前均需進(jìn)行裝置調(diào)試,所以設(shè)備故障幾率較小,日常保養(yǎng)、維修等操作都十分簡(jiǎn)單。目前,超純水設(shè)備已在諸多項(xiàng)目在運(yùn)行,應(yīng)用優(yōu)勢(shì)顯著。

  萊特萊德超純水設(shè)備應(yīng)用于某半導(dǎo)體企業(yè)

  一、項(xiàng)目名稱:四川省某半導(dǎo)體企業(yè)超純水項(xiàng)目

  二、項(xiàng)目地址:四川省

  三、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

  《電子級(jí)水》(GB/T 11446.1-2013)

  《Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13)

  四、項(xiàng)目工藝:

  Huncotte系統(tǒng)選用核子級(jí)樹脂,通過(guò)獨(dú)有的靶向離子交換樹脂,能夠有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量,硼離子含量通過(guò)IPC-MS檢測(cè),硼離子出水≤0.005μg/L遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于ASTM-D5127-13標(biāo)準(zhǔn)中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。相信更優(yōu)質(zhì)的超純水,可以給半導(dǎo)體帶來(lái)更好的性能,給半導(dǎo)體企業(yè)帶來(lái)更強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。

  萊特萊德長(zhǎng)年致力于水處理設(shè)備的開發(fā)、研制和生產(chǎn),積累了豐富的水處理技術(shù)制造經(jīng)驗(yàn),擁有專業(yè)的加工設(shè)備,齊全的檢測(cè)手段,完善的質(zhì)保體系以及合理的售后服務(wù)。

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